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金融界2025年1月27日音讯，国家知识产权局信息数据显现，青岛芯氟新资料科技有限公司请求一项名为“一种干刻蚀制程用耐等离子体型ESCring的制备办法”的专利，公开号CN 119350785 A，请求日期为2024年10月。
专利摘要显现，本发明触及半导体制作范畴，且公开了一种干刻蚀制程用耐等离子体型ESCring的制备办法，该ESCring制成的质料包含由下述分量份质料制得：1000P FFKM原胶100份，DBPH0.5‑1.5份。本发明将FFKM混炼胶料依照硫化三要素进行模压，制备ESCring胶料的质料选型，配方及加工工艺，处理了资料洁净度问题，其ESCring具有物理机械功能好、优秀的压变能好、超强的耐介质功能，优秀的洁净度，杰出的耐等离子功能大范围的使用在晶圆干刻蚀制程使用体系密封。本发明具有高耐久性以维护静电吸盘免受高能量等离子体的危害的长处。
天眼查资料显现，青岛芯氟新资料科技有限公司，成立于2023年，坐落青岛市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本400万人民币。经过天眼查大数据分析，青岛芯氟新资料科技有限公司专利信息1条，此外企业还具有行政许可3个。
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