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半导体射频电源是能够发生固定频率的正弦波、具有必定频率的高频电源，主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成，射频电源作为等离子体配套电源，频率在射频范围内（约3KHz～300GHz），大范围的应用于半导体蚀刻、CVD和PCV等范畴。
半导体射频电源是半导体工艺设备的中心零部件之一，近年来，半导体射频电源商场规模跟着半导体职业的开展进一步增加。2022年全球半导体射频电源商场规模从2018年的4.84亿美元增加至7.26亿美元，估计2023年将到达7.71亿美元。
跟着国内半导体职业的继续稳步开展,我国半导体射频电源商场规模仍将保持着微弱的增加态势。2022年我国半导体射频电源商场规模为0.97亿美元，约占全球的13.31%，估计2023年将到达1.10亿美元，约占全球的14.23%。
2022年，全球半导体射频电源重要出产区域是北美、日本，算计占有全球近60%的商场占有率，其间北美占全球的36.04%，日本占全球的23.17%。
全球半导体射频电源商场集中度较高，榜首队伍企业算计占52.95%的商场占有率，第二队伍企业算计占33.99%的商场份额。
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