【48812】三星请求等离子体处理设备专利能有用履行基板处理工艺
金融界2023年12月12日音讯，据国家知识产权局公告，三星电子株式会社请求一项名为“等离子体处理设备“，公开号CN117219485A，请求日期为2023年6月。
专利摘要显现，一种等离子体处理设备包含：工艺室，在其间履行基板处理工艺；静电卡盘，其具有微腔；下电极，其被设置为与静电卡盘的下外表触摸；高频电源，其将高频电力施加到下电极；导电支撑件，其被设置为与下电极的下部间离隔而且接地；以及放电抑制器，其坐落下电极和导电支撑件之间，具有构成气体供给线的一部分的气体供给活动途径，而且经过三维打印来成型，其间，气体供给活动途径具有在高频电力所构成的电场的方向上具有5mm或更小的长度而且衔接放电抑制器的上外表和下外表的空间部分。
以上内容与证券之星态度无关。证券之星发布此内容的意图是传达更多具体的信息，证券之星对其观念、判别保持中立，不确保该内容（包含但不限于文字、数据及图表）悉数或许部分内容的准确性、真实性、完整性、有用性、及时性、原创性等。相关联的内容不对各位读者构成任何出资主张，据此操作，危险自担。股市有危险，出资需谨慎。如对该内容存在贰言，或发现违法及不良信息，请发送邮件至，咱们将组织核实处理。
